0ptorun 離子輔助氣相沉積 OTFC-1100

價格
電議

型號
OTFC-1100

品牌
0ptorun

所在地
暫無

更新時間
2024-08-22 15:42:42

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    型號 OTFC-1100CBI/DBI
    真空室 SUS304，φ1100mm×1520mm（高）
    基底圓頂 φ950mm
    基板圓頂轉(zhuǎn)速 10 rpm 至 50 rpm（可變）
    光學膜厚控制系統(tǒng) HOM2-R-VIS350A 光學監(jiān)視器
    波長范圍：350nm 至 1100nm
    反射/透射
    晶體膜厚儀 XTC/3+6點旋轉(zhuǎn)傳感器
    蒸發(fā)源 2支電子槍
    離子源 17 cm 射頻離子源
    排氣系統(tǒng) arabiki 泵 + 2 個擴散泵 + 2 個 Polycold
    或低溫泵 + 低溫冷阱

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