GS-3813小野傳感器，GS-3813數(shù)字式傳感器，GS-3813位移傳感器

GS-3813 / GS-3830是サブミクロンリニアゲージセンサ雖然有，耐久性的軸承和IP 66 G的防塵·防水滴性能，具有自動機進行聯(lián)機的測量對應了的高分辨率線性規(guī)傳感器。

球花鍵軸承采用新光學系的開發(fā)，高分辨率和耐環(huán)境性能的兩立成為可能了。

矩形波輸出（線驅動器輸出）檢測信號能取出，所以PLC直接連接到。

GS-3813小野傳感器特長

■原產品相比更加精密測量

（分辨率10倍1μm→0.1μm

■原產品相比3倍的軸承壽命

（測量動作500萬次→1500萬次）

■原產品相比，被強化的耐塵埃，耐水性能，防油

（保護構造IP 64→IP 66 G）

■原產品相比2倍的耐振動沖擊性能

（耐振動98 m / s2，耐沖擊980 m / s2→耐振動196 m / s2，耐沖擊1960米/秒）2

レーザ機器用ガラス部品などは、研磨加工工程で接觸式高精度リニアゲージで寸法検査をし、中間工程での精度を確保し、終工程の光學検査工程へ送ります。

高精度リニアゲージセンサを使用し、1µm の精度でシリコンウェーハの厚さを測定します。４インチ以下の小さなウェーハでは ST-0230 ゲージスタンドを利用できます。

シリコンウェハのように反りがある板狀材料の厚さを高精度に測定します。反りの影響を受けない様にするため、GS-3813 ゲージセンサの測定子が當たる部分を「凸レンズ」で受け、その他４點をピンで支える構造を持った特殊スタンドを使用します。
GS-3813 ゲージセンサの測定子中心と凸レンズ中心を合わせることで、反りの影響をほとんど受けずに厚さを測定することが出來ます。測定データは RS-232C インタフェース経由でパソコンに取り込むことで、統(tǒng)計処理等の２次処理が行なえます。

概略仕様