ULTRA

半導(dǎo)體級(jí)別圖形發(fā)生器

The Semiconductor Laser Mask Writer

PSM 二次套刻解決方案

ULTRA特別是針對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)掩膜版，是一款更經(jīng)濟(jì)，適合量產(chǎn)化的系統(tǒng)，并且具有高效產(chǎn)能，高精度和更好地均勻性，以及更高的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。

ULTRA更是符合半導(dǎo)體科技產(chǎn)業(yè)需要的快速，而且有效結(jié)合所有系統(tǒng)，進(jìn)而量產(chǎn)的基本配備。

ULTRA*小線寬結(jié)構(gòu)可做到500nm，根據(jù)寫入速度，*快可達(dá)每分鐘 325mm²或 580mm²，同時(shí)具備*的CD均勻性、高質(zhì)量圖像、多層套刻精度以及重復(fù)定位精度。

關(guān)于我們 - Stella International

Stella International攜手光刻技術(shù)領(lǐng)航者-海德堡儀器公司，共同為客戶帶來*的綜合應(yīng)用效能，同時(shí)建立緊密的合作伙伴關(guān)系。

為了服務(wù)客戶更廣泛多元的應(yīng)用領(lǐng)域，Stella International于 2016年在蘇州成立海德堡儀器演示中心，以海德堡原廠伙伴技術(shù)支援，提供客戶技術(shù)交流平臺(tái)以及各式前段打樣的基礎(chǔ)研究，

這些年來已服務(wù)許多的國(guó)內(nèi)大學(xué)，研究所與企業(yè)前期研發(fā)單位。

介紹

德國(guó)海德堡 高精密無掩膜激光直寫設(shè)備
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM

德國(guó)海德堡設(shè)備(Heidelberg Instruments)，創(chuàng)始于1984年，在激光直寫設(shè)備的發(fā)展和設(shè)計(jì)上，一直是*的。多年以來，系統(tǒng)設(shè)備持續(xù)地改良、在各種應(yīng)用上客制化。

應(yīng)用范圍包括：微電腦和納米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相關(guān)領(lǐng)域。

銷售橫跨歐洲、美國(guó)、亞洲等過50幾個(gè)*、700個(gè)以上銷售據(jù)點(diǎn)，用于研發(fā)、快速原型制作和工業(yè)生產(chǎn)系統(tǒng)，是企業(yè)研究和發(fā)展的*伙伴。