天然氣（CH4)熱導(dǎo)氣體傳感器

天然氣（CH4)熱導(dǎo)氣體傳感器主要的結(jié)構(gòu)工作方式是在主氣路上部設(shè)置測量氣室，待測氣體通過擴散作用進入測量室，由于測量室中待測氣體與主氣路中的氣體進行熱交換，再經(jīng)主氣路排出。這種結(jié)構(gòu)適應(yīng)于質(zhì)量較小的氣體的流量，因為質(zhì)量較小的氣體擴散系數(shù)大。用這種類型結(jié)構(gòu)的傳感器來測量質(zhì)量較小的氣體的成分量時，滯后時間較小，受氣體流量波動的影響也較小。而對于擴散系數(shù)較小的氣體，如二氧化碳，測帶后的時間要增大。但如果減小測量室的體積，反應(yīng)速度可以提高。

天然氣（CH4)熱導(dǎo)氣體傳感器采用的MEMS加工技術(shù)生產(chǎn)，利用被測組份和參考?xì)怏w的熱導(dǎo)系數(shù)不同而響應(yīng)的濃度型傳感器。產(chǎn)品具有檢測范圍大、可靠性高、安裝方便、維護簡單等優(yōu)點。

天然氣（CH4)熱導(dǎo)氣體傳感器主要是檢測天然氣（CH4)的成分，另外還可廣泛應(yīng)用于氫氣，H2、CO2，CO，SF6，Xe，He，NH3等氣體成份檢測，也可用于測量非常小的氣體容積變化。

特點

測量精度高
靈敏度高
集成溫度補償，漂移小
體積小，響應(yīng)速度快
可以測量微小的氣體容量
高
TO8封裝，抗沖擊能力強

應(yīng)用

天然氣的成份和來源分析
垃圾填埋，沼氣池中CO2和CH4含量
空氣混合物中的He或Xe含量
發(fā)電廠氫冷電機組循環(huán)氣中H2含量
工業(yè)窯爐、鍋爐的廢氣中CO2含量
化肥廠合成NH3與補充氣比例

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