價格
￥38,600.00
型號
KT--Z1650CVD
品牌
鄭科探
所在地
鄭州市
更新時間
2024-07-18 09:44:49
瀏覽次數(shù)
次
小型鎢舟蒸鍍儀KT-Z1650CVD
是一款小型多功能鍍膜儀，額定1800度高溫，自動樣品擋板，靶臺旋轉，觸摸屏多段控制，工藝儲存等功能。
正空蒸發(fā)鍍膜包括以下基本過程：（1）加熱蒸發(fā)過程：包括由凝聚相轉變?yōu)闅庀嗟倪^程，每種蒸發(fā)物質在不同的溫度有不同的飽和蒸氣壓。（2）氣態(tài)原子或分子在蒸發(fā)源與基片之間運輸，即原子或分子在環(huán)境氣氛中的飛行過程。
（3）蒸發(fā)原子或分子在基片表面張得沉積過程。即是蒸發(fā)，凝聚，成核，核生長，形成連續(xù)的膜。由于基板溫度遠
低于基板溫度遠低于蒸發(fā)源溫度，因此，氣態(tài)分子在基片表面將發(fā)生直接由氣態(tài)到固態(tài)的相轉變過程。
SHAPE * MERGEFORMAT
編輯
以下是不同真空度 不同鍍膜時間鍍銅樣品圖
原樣品沒有鍍膜
115A 100秒 機械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘
115A 120秒 分子泵抽20分鐘
真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色
技術參數(shù)
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控制方式 |
7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
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加熱方式 |
數(shù)字式功率調整器 |
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鍍膜功能 |
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
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功率 |
≤1200W |
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輸出電壓電流 |
電壓≤12V 電流≤120A |
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真空度 |
機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa |
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擋板類型 |
電控 |
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真空腔室 |
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
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樣品臺 |
可旋轉φ62 （可安裝φ50基底） |
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樣品臺轉速 |
8轉/分鐘 |
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樣品蒸發(fā)源調節(jié)距離 |
70-140mm |
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蒸發(fā)溫度調節(jié) |
≤1800℃ |
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支持蒸發(fā)坩堝類型 |
鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
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預留真空接口 |
KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
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可選配擴展 |
機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa） 數(shù)顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa） 分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa） |
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KT—Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓，電流反饋，樣品臺旋轉，樣品高度調節(jié)及電動擋板功能。通過定時調節(jié)預濺射功率及薄膜沉積功率，可對大部分金屬進行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。