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美國CASCADE-日本IWATSU ON-WAFER 功率半導(dǎo)體SIC/IGBT 探針臺測試系統(tǒng)

產(chǎn)品簡介：

CASCADE-IWATSU Tesla 是業(yè)界*功率器件測量系統(tǒng)，它提供了一款用于在高達 400A的電流和 3000V 的電壓條件下進行功率半導(dǎo)體的過熱、低接觸電阻測量的完整晶圓上解決方案。該新系統(tǒng)采用了兩款*晶圓探針和一種全新的晶圓吸盤技術(shù)。

Tesla 解決了薄晶圓、功耗以及電流/電壓要求的難題

• 高電流參數(shù)（HCP）探針專為滿足 Rds(on) 測量要求而設(shè)計。的設(shè)計*限度地抑制了探針至晶圓觸點上的熱失控，并支持高達 10A（在連續(xù)模式中）和高達 60A（在脈動模式中）的電流。
• 高電壓參數(shù)（HVP）探針在高達 3000V 的電壓條件下實現(xiàn)了漏電流低至 1pA 的擊穿電壓測量。
• Exclusive Vacuchannel? 吸盤技術(shù)運用針對薄晶圓（薄至 100μm）的*傳送方法滿足了當(dāng)今功率器件晶圓的需要。此外，Vacuchannel 技術(shù)傳送功率耗散器件的方式也不同于市面上現(xiàn)有的其他解決方案，實現(xiàn)了功耗高達 75W 的器件的晶圓上測量。