在線膜厚監(jiān)控系統(tǒng)

價格
電議

型號
R&D-TFM

品牌

所在地
廣東省 深圳市

更新時間
2019-02-04 10:50:02

瀏覽次數(shù)
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    Opsensing與R&D公司共同開發(fā)了提供不同行業(yè)的R&D-TFM光譜儀及標準軟件?？捎梅秶薝V可見光及紅外線光譜范圍（200~2000nm），有多種形態(tài)的測試，在此軟件下執(zhí)行包含了：

    • 膜厚測試：以Fourier algorithm 量測
    • Fitting routines 曲線逼近方式，薄膜量測
    • 顏色分析：可見光光譜儀
    • 峰值尋找module
    • 多層膜厚FIT測試
    • 可見光平均穿透率檢測
    • 量測厚度可由50nm-2000um  (使用不同光譜波長)，規(guī)格如下：

     

     

    No.

    Version

    ThicknessRange

    Accuracy

    Resolution

    1.0

    VIS(0.1-30)

    0.1-30 μm

    0.01 μm（0.1-1 μm range）

    0.04 μm（1-30 μm range）

    0.002（0.1-1 μm range）

    0.008（1-30 μm range）

    1.1

    VIS(4-120)

    4-120 μm

    0.15 μm

    0.03 μm

    1.2

    VIS(40-1200)

    40-1200 μm

    1.0 μm

    0.2 μm

    1.3

    NIR (1-30)

    1-30 μm

    0.05 μm

    0.01 μm

    1.4

    NIR (4-120)

    4-120 μm

    0.2 μm

    0.04 μm

     

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